氮气纯化工艺采用直接脱氧法，其工作原理为将制氮机生产出来的氮气直接进入氮气纯化装置进行脱氧、脱水，制取合格的高品质高纯氮气；通过管道，直接把制取的氮气通入装有碳脱氧剂的容器内，通过加热后,氮气中的氧被吸附，当吸附饱和时则此碳脱氧剂的寿命即到，将更换碳脱氧剂。因此该碳脱氧剂被称为消耗型脱氧剂 （装置设计为单塔除氧使用期1个月，后续需全部更换脱氧剂，即重新装填；本套设备设计为两个塔，两塔交替使用，相同使用周期） 脱氧后的氮气中残氧量可小于10ppm。脱氧后的氮气进入干燥器内，干燥器内装有分子筛，氮气经脱氧后产生微量CO2、CO被深度吸附;工艺上采用双塔吸附，每只干燥器的工作周期设计为24小时，塔的转换和再生均用自动控制。
